1、使用的源材料要符合必要的纯度要求；
2、样品取出后放置的环境要注意清洁问题；
3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；
4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求；
5、工作人员要有专门的工作服装，操作要戴手套、脚套等；
6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物；
7、技术上明确允许的最大颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少；
8、室内空气流动性低、地面干净，如果是裸露的水泥地，需要覆盖处理，墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。