在使用镀膜机的过程中是需要保养的，对于镀膜材料，在镀膜之前做简单的表面清除更是可以延长使用寿命。因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不仅不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
常见的污染物有油脂包括加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；水基类有操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等；酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物清洗这些污染物的目的是为了改进真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。工作能够更加顺利的进行。